| 是否进口：否 | 产地：河南郑州 | 加工定制：是 |
| 品牌：科佳电炉 | 型号：KJ-1200T-S80-PECVD | 订货号：KJ180 |
| 货号：KJ789 | 最大电压：220V | 功率：4W |
| 额定温度：1100℃ | 主要用途：沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）等。 | 产品认证：CE认证 ISO9001质量认证 |
| 是否跨境货源：是 | 主要下游平台：亚马逊、 速卖通、 独立站 | 主要销售地区：欧洲、 北美、 南美、 东南亚、 东北亚、 中东、 非洲、 其他 |
| 有可授权的自有品牌：是 | 颜色：纯灰色 |
马 赛 Ma Sai
郑州科佳电炉有限公司
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1.1 系统简介
科佳电炉ＰＥＣＶＤ（CVD涂层化学气相沉积）是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）等。
1.2主要功能和特点
1、加热元件采用掺钼合金加热丝，炉膛保温材料采用进口多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于国内纤维材料。
2、整个CVD涂层化学气相沉积的炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
4、炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了。
5、超温报警并断电，漏电保护，操作***具有多重防护功能。
二、设备结构
滑道式PECVD系统由KJ-1200T管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。
产品名称 | 等离子气相沉积PECVD系统(CE认证) |
管式炉部分 | |
产品型号 | KJ-1200T |
加热区长度 | 300mm/440mm/600mm/1200mm（可选） |
加热区段数 | 单温区/双温区/三温区/四温区/五温区/多温区/（可选） |
炉管直径 | 直径60mm/80mm/100mm/120mm/125mm/230mm（可选） |
工作温度 | ≦1100℃ |
温度 | 1200℃ |
测温元件 | K型热电偶 |
温控系统 | 30段PID微电脑可编程自动控制 |
保温温控精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 | 0-20?C/min |
加热元件 | 高电阻电热合金丝OCr27A17Mo |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ |
炉膛材料 | 采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射***、温场均衡 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好 |
炉 管 | 高纯石英管 |
炉壳温度 | ≤45℃ |
真空系统部分 | |
名称 | 旋片泵/扩散泵组/分子泵组（可选） |
主要参数 | 真空泵真空度6.67*10-3Pa（包含KF25接口和可移动箱体） |
真空显示 | 成都睿宝数显真空计，实时显示真空度 |
真空显示量程 | 其测量范围为1×105--1×10-5pa |
气路系统部分 | |
名称 | 质量流量计 |
型号 | KJ-Z |
气路 | 2路/3路/4路/5路/6路多路（可选） |
流量控制 | 液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制 |
链接方式 | 双卡套接头 |
流量计 | 质子流量计 |
流量范围 | MFC范围: 0~500 sccm（可选） |
控制精度 | ±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别 |
工作环境温度 | 5℃-45℃ |
等离子射频器部分 | |
名称 | 射频自动匹配器 |
型号 | VERG-500+VENA-500 |
匹配功率范围 | 0-500W |
工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
正常工作反射功率 | ＜3W |
匹配时间 | ＜3S |
传输效率 | ＞90% |
匹配器电源 | AC220V/50-60HZ |
输入连接器 | N型 |
输出连接器 | UHF |
控制模式 | 手动/自动 |
可设预置点数 | 7 |
匹配阻抗范围 | 实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗) |
匹配器尺寸 | 340X230X130 MM |
提供相关配件 | 气路总成一套，数显真空计1个，真空泵一台、炉堵2对，高密封法兰1对，石英管1根，密封圈4对，高温手套1对，坩埚钩1把，真空泵连接管件1套，拆卸法兰六角扳手1把，保修卡说明书1份等 |
电气认证 | 欧盟CE认证 IS90001质量体系认证 |
售后保障 | 12个月（易损件除外） |
